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 기사

ISSN  

12264881

서명/저자  

공기 부상방식 이송시스템의 추진 노즐 배치방법에 따른 웨이퍼 이송 속도 평가 / 문인호, 황영규

발행사항  

서울 : 대한기계학회, 2006.

형태사항  

pp. 306-313

키워드  

공기 부상 방식 이송 노즐 배치 웨이퍼 속도 평가

기타저자  

문인호, 황영규

기본자료저록  

대한기계학회논문집B=Transactions of the korean society of mechanical e : 제30권 제4호 (통권 제247호)(2006년 4월) 2006, 04

URL  

http://www.ksme.or.kr

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Control Number  

kjul:60076199