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기판의 결정구조에 따른 RF 스퍼터링 ZnO 박막의 성장과 미세구조 분석
기판의 결정구조에 따른 RF 스퍼터링 ZnO 박막의 성장과 미세구조 분석
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 서명/저자
- 기판의 결정구조에 따른 RF 스퍼터링 ZnO 박막의 성장과 미세구조 분석 / 유인성, 소순진, 박춘배 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2006.
- 형태사항
- pp. 461-466
- 기타저자
- 유인성
- 기타저자
- 소순진
- 기타저자
- 박춘배
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60076011
MARC
008060518s2006 ULKa a KOR■022 ▼a12267945
■245 ▼a기판의 결정구조에 따른 RF 스퍼터링 ZnO 박막의 성장과 미세구조 분석▼d유인성, 소순진, 박춘배 공저
■260 ▼a서울▼b한국전기전자재료학회▼c2006.
■300 ▼app. 461-466
■653 ▼a기판▼a결정▼aRF▼a스퍼터링▼aZNO▼a박막▼a성장▼a미세▼a구조
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■7001 ▼a박춘배
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제19권 제5호 (2006년 5월)▼d2006, 05
■URL ▼ahttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS025122▼b60055323▼h8▼s2
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