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Cu 금속배선을 위한 카본-질소-텅스텐 확산방지막 특성
Cu 금속배선을 위한 카본-질소-텅스텐 확산방지막 특성
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12269360
- Title/Author
- Cu 금속배선을 위한 카본-질소-텅스텐 확산방지막 특성 / 이창우 저
- Publish Info
- 서울 : 한국마이크로전자및 패키징학회, 2005.
- Material Info
- pp. 345-350
- Added Entry-Personal Name
- 이창우
- Host Item Entry
- 마이크로전자 및 패키징 학회지=Journal of the Microelectronics and Pack : 2005 Vol. 12 No.4 ((37)) 2005, 12
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60075333
MARC
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■URL ▼ahttp://www.imapsk.or.kr
■SIS ▼aS023547▼b60075252▼h8▼s2
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