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12296368

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유무기 하이브리드 SiOC 박막의 화학적 이동에 대한 FTIR 스펙트라 분석 / 오데레사 저

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서울 : 대한전자공학회, 2005.

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pp. 17-22

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유무 하이브리드 SIOC 박막 화학적 이동 대한 FTIR 스펙트

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오데레사

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전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체 : 제42권 제6호 (2005 6) 2005, 06

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kjul:60047543