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유기금속화학기상증착법에 의해 증착된 구리 핵의 기판과 전처리의 의존성
유기금속화학기상증착법에 의해 증착된 구리 핵의 기판과 전처리의 의존성
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12297380
- 서명/저자
- 유기금속화학기상증착법에 의해 증착된 구리 핵의 기판과 전처리의 의존성 / 곽성관, 이명재, 김동식 공저
- 발행사항
- 서울 : 대한전자공학회, 2002.
- 형태사항
- pp. 22-30
- 기타저자
- 곽성관, 이명재, 김동식
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60044660
MARC
008050719s2002 ULKa a KOR■022 ▼a12297380
■245 ▼a유기금속화학기상증착법에 의해 증착된 구리 핵의 기판과 전처리의 의존성▼d곽성관, 이명재, 김동식 공저
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■773 ▼t전자공학회논문지TE(Technology Education) : 전문 기술교육▼g제39권 제1호 (2002 3)▼d2002, 03
■SIS ▼aS009741▼b60014439▼h8▼s2
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