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DDMS를 이용한 MEMS 구조물의 새로운 점착방지 방법
DDMS를 이용한 MEMS 구조물의 새로운 점착방지 방법 / 김봉환, 오창훈, 전국진 공저
DDMS를 이용한 MEMS 구조물의 새로운 점착방지 방법

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
12296368
서명/저자  
DDMS를 이용한 MEMS 구조물의 새로운 점착방지 방법 / 김봉환, 오창훈, 전국진 공저
발행사항  
서울 : 대한전자공학회, 2000.
형태사항  
pp. 9-16
키워드  
DDMS를 이용 MEMS 구조물 새로운 점착 방지 방법
기타저자  
김봉환, 오창훈, 전국진
기본자료저록  
전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체 : 제37권 제6호 (2000 6) 2000, 06
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60043879

MARC

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